新コスモス電機

新コスモス電機 半導体材料ガス警報検知器XPS-7

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半導体工場等毒性ガスを使用する現場で、ガス漏洩検査や濃度測定に。
ガスに合わせてセンサユニットが交換でき、１台で様々な半導体材料ガスを検知可能。

カセット式センサユニットなのでガス検知器の校正が不要、メンテナンスの時間とコストを削減。

重さわずか1.3kgの小型•軽量タイプ。

ガス濃度の変化により、警報音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。

アルシン【AsH3】,アンモニア【NH3】,一酸化炭素【CO】,一酸化窒素【NO】,塩化水素【HCI】,塩素【Cl2】,オゾン【O3】,三フッ化塩素【ClF3】,ジクロルシラン【SiH2Cl2】,ジシラン【Si2H6】,ジボラン【B2H6】,臭化水素【HBr】,セレン化水素【H2Se】,二酸化硫黄【SO2】,二酸化窒素【NO2】,半導体材料ガス,フッ化水素【HF】,フッ素【F2】,ホスフィン【PH3】,モノゲルマン【GeH4】,モノシラン【SiH4】,硫化水素【H2S】