半導体材料ガス検知器XP-703DⅢ[新コスモス電機]

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製品名	価格
商品コード G-XP703DIII 半導体材料ガス検知器XP-703DⅢ	税別 127,000円 （税込 139,700円）

特徴

各種半導体材料ガスに対応

1台で各種半導体材料ガス（アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など）に対応。

ポンプ自動停止機能を搭載

誤って水を吸引した際やアタッチメントの先端がふさがれた時など、異常を感知して自動的にポンプを一時停止し、故障を防ぎます。その際、ポンプ復帰スイッチで通常検知に復帰できます。

自動ガス排気モード搭載

電源を切るとき（電源スイッチを3秒間押した時）に機器内にガスが残っていた場合、自動的に機器内のガスを排気して検査への悪影響を防ぎます。ガス抜きの必要はありません。

水素関連設備の保安に最適！

水素を1 ppm の低濃度で検知可能なので、漏えい個所を見逃しません。

用途

• 半導体工場等毒性ガスを使用する現場でのガス漏洩検査に。
• 水素関連設備の保安に。






半導体材料ガス検知器XP-703DⅢ[新コスモス電機]の仕様

型式	XP-703DIII
検知対象ガス	半導体材料ガス（アルシン、ホスフィン、ジボラン、シラン、水素）
ガス採気方式	自動吸引式
検知原理	熱線型半導体式
-	アルシン	ホスフィン	ジボラン	シラン	水素
検知可能 漏洩量	2.53×10－7 Pa・m3/s	1.52×10－7 Pa・m3/s	1.01×10－7 Pa・m3/s	2.53×10－7 Pa・m3/s	5.07×10－7 Pa・m3/s
検知可能濃度	0.5 ppm	0.3 ppm	0.2 ppm	0.5 ppm	1.0 ppm
応答時間	10秒以内（探知可能濃度の3倍の濃度のガスに対して、感度設定[4]）
表示方式	断続音及びアラームランプの点滅
電源	単3形アルカリ乾電池2本
連続使用時間※1	約12時間（単3形アルカリ乾電池）[常温・常湿において]
保護等級※2	IP22相当
使用温度範囲	0℃～+40℃ 85%RH以下（但し、結露なきこと）
外形寸法	W38×H130×D32mm（突起物を除く）
質量	約190g（電池、レザーケース含む）
標準付属品	レザーケース、ドレンフィルタ、交換用フィルタエレメント、 アタッチメント、点検ガス、ハンドストラップ、 単3形アルカリ乾電池2本　等

※1 環境条件、使用条件、電池メーカーなどにより異なる場合があります｡

※2 レザーケース装着の場合｡